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[实用新型]一种金属表面刻蚀纳米孔阵列的形貌-CN201220024411.0有效
发明人：陈万涛;黄其煜;孙强;陈姗姗;严明;徐骎;张梅 -专利权人：上海交通大学医学院附属第九人民医院
申请日： 2012-01-19 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种金属表面刻蚀纳米孔阵列的形貌，所述的金属表面刻蚀纳米孔阵列的形貌是由金属和金属表面的纳米孔阵列组成，所述的金属是纯钛或钛合金，纳米孔阵列是TiO2纳米孔阵列，所述的TiO2纳米孔阵列刻蚀在纯钛或钛合金的表面，纳米孔结构分布均匀。其优点表现在：本实用新型的钛表面纳米孔阵列结构在有效克服了“纳米管”的容易脱层、且不具备良好的机械加工性能缺点的同时，创新性地制造特定尺度的纳米孔阵列结构，在以其制作工艺简单方便、成本低廉的优势，成为很有应用前景的骨种植和骨内固定材料
一种金属表面刻蚀纳米阵列形貌

[发明专利]一种纳米孔局部亲疏水性修饰的方法-CN202110433800.2在审
发明人：张琬皎;龙眈 -专利权人：杭州欧光芯科技有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米孔局部亲疏水性修饰的方法。其工艺为：在基片表面形成一层牺牲层；在牺牲层上形成具有纳米孔阵列结构的图形转移层；去除残余层；在牺牲层制备具有纳米孔阵列结构的牺牲层；在基片上制备具有纳米孔阵列结构的基片；纳米孔阵列结构的亲水性修饰；去除牺牲层本发明制备的具有纳米孔阵列结构的基片中的纳米孔具有超亲水性，凸起的基片表面具有疏水性，实现了同一纳米孔基片具有不同的亲疏水性，避免了基片表面残留物质对纳米孔内标记的影响，提高了纳米孔基片捕获能力和检测的准确性
一种纳米局部亲疏水性修饰方法

[发明专利]一种基于介质纳米结构的拓扑边缘态波导及其制造方法-CN202210151255.2在审
发明人：胡劲宇;史丽娜;李龙杰;王冲;尚潇;陈生琼;薛惠文 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于介质纳米结构的拓扑边缘态波导及其制造方法，其中，所述基于介质纳米结构的拓扑边缘态波导，包括：衬底；设置在衬底上的埋氧层；以及设置在埋氧层上的纳米孔阵列层；纳米孔阵列层设置有由正六边形孔组成的第一纳米孔阵列和第二纳米孔阵列，第一纳米孔阵列和第二纳米孔阵列的交界处形成边缘态结构，边缘态结构用于选择性的接收和/或传播对应波长的光。
一种基于介质纳米结构拓扑边缘波导及其制造方法

[发明专利]纳米孔阵列-CN201480003939.1有效
发明人： R.J.A.陈;D.J.富拉加 -专利权人：吉尼亚科技公司
申请日： 2014-01-28 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： G01N27/447 文献下载
摘要：公开了一种使用包括被包括在芯片上的多个单元的纳米孔阵列来分析分子的方法。引起在所述多个单元的至少一部分中形成纳米孔。评估纳米孔的第一物理测量结果。确定是否引起分子与纳米孔相互作用。引起纳米孔的至少一部分与分子相互作用。评估指示分子性质的纳米孔的第二物理测量结果。确定是否引起重新形成纳米孔，使得单元可重新使用以与附加分子相互作用。
纳米孔分子相互作用物理测量结果纳米孔阵列分子性质评估指示芯片评估分析

[发明专利]镍锡合金纳米孔阵列及其制备方法-CN201610230558.8有效
发明人：付群;王欣;赵华平;明杰;张成林;雷勇;吴明红 -专利权人：上海大学
申请日： 2016-04-14 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： H01G11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种镍锡合金纳米孔阵列及其制备方法。本发明是基于大孔阳极氧化铝模板的结构特性制备得到大面积有序、可控的镍锡合金纳米孔阵列。所述的纳米孔的直径为200~400nm，长度1~6μm。本发明制备的镍锡合金纳米孔阵列具有大的比表面积，垂直的孔道结构、高的导电性以及结构稳定性。本发明方法，可以根据模板的结构参数调节镍锡合金纳米孔阵列的结构参数，同时还可以实现不同金属纳米孔阵列的制备，具有制备工艺简单，成本低廉，重复性好等优点。
纳米孔阵列镍锡合金制备结构参数阳极氧化铝模板导电性结构稳定性结构特性金属纳米孔道结构制备工艺垂直的可控的孔阵列纳米孔大孔

[发明专利]光敏元件-CN201410796003.0有效
发明人：陈平;卢亚宾;李星;赵东旭;林列 -专利权人：南开大学
申请日： 2014-12-18 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：一种光敏元件，包括半导体有源层、纳米孔阵列层、亚微米颗粒层、阳极和阴极，纳米孔阵列层设有贯穿纳米孔阵列层的纳米孔，纳米孔沿纳米孔阵列层的厚度方向延伸，半导体有源层、纳米孔阵列层和亚微米颗粒层依次层叠，纳米孔阵列层和亚微米颗粒层的两端对齐，阳极和阴极均位于半导体有源层上，且阳极和阴极分别位于纳米孔阵列层和亚微米颗粒层的两端。通过亚微米颗粒结构和纳米孔阵列结构之间的局域表面等离子体共振耦合作用能够使得半导体产生的载流子数量增强，从而提高半导体的光电流强度，提高灵敏度。
光敏元件

[发明专利]一种图案化纳米阵列模板及其制备方法和应用-CN202010466833.2在审
发明人：黄璐 -专利权人：中山大学
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： B29C33/38 文献下载
摘要：本申请属于纳米阵列材料的技术领域，尤其涉及一种图案化纳米阵列模板及其制备方法和应用。本申请提供了一种图案化纳米阵列模板，包括微米通孔模板层和纳米孔模板层；所述微米通孔模板层的微米通孔的孔径为5～30μm；所述微米通孔模板层的微米通孔按照图案化排列；所述纳米孔模板层的纳米孔的孔径为10～300nm；所述微米通孔模板层可拆卸性固定在所述纳米孔模板层的纳米孔面上。本申请的图案化纳米阵列模板能制得具备特定图案和不同尺寸的阵列结构，有效解决现有的纳米孔阵列模板法只能制备无图案的、尺寸单一的纳米柱阵列的技术缺陷。
一种图案纳米阵列模板及其制备方法应用

[发明专利]一种多层微结构仿生干黏附结构、模具及其制备方法-CN202210051875.9在审
发明人：邵仁锦;浦东林;张瑾;朱鹏飞;陈林森 -专利权人：苏州苏大维格科技集团股份有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：一种多层微结构仿生干黏附结构、模具及其制备方法，多层微结构仿生干黏附结构包括多个多层微结构单元，每一所述多层微结构单元包括底层的微米级柱体结构、中间层的微米级蘑菇头结构，以及顶层的纳米阵列结构，其中纳米阵列结构为纳米柱阵列结构或者纳米孔阵列结构本发明提供的多层微结构仿生干黏附结构、模具及其制备方法，通过设置顶层的纳米阵列结构，使得微结构与物体面之间的接触端由微米量级的蘑菇头“面结构”变成纳米量级的纳米珠阵列或纳米孔阵列的“点结构”，增加了接触面积，进一步提升产品的黏附性能，结构稳定性更强。
一种多层微结构仿生黏附结构模具及其制备方法

[发明专利]硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法-CN201310742639.2有效
发明人：吴学忠;董培涛;王浩旭;陈剑;邸荻;王朝光;王俊峰 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法。该硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列包括一硅片基底，硅片基底上设有硅柱纳米结构阵列，硅柱纳米结构阵列上设有金属膜纳米结构阵列，金属膜纳米结构阵列单元设于硅柱纳米结构阵列单元上。制备方法包括制备单层有序聚苯乙烯纳米球致密排列、制备单层有序聚苯乙烯纳米颗粒非致密排列、制备金属纳米孔阵列掩模、制备纳米结构阵列模版、制备金属膜纳米结构阵列掩模和硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列等工艺步骤。本发明的纳米结构阵列具有大面积、高密度、形貌可被改变等优点，制备方法成本低廉、效率高、兼容性好，为研究纳米结构阵列的光学性质、磁性能、催化特性等提供了便利。
支撑金属膜纳米结构阵列及其制备方法

[发明专利]基于纳米环图案化界面的紫外滤光结构及其设计方法-CN202110079530.X有效
发明人：王岭雪;东苗;蔡毅 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于纳米环图案化界面的紫外滤光结构及其设计方法，该结构包括设于玻璃基底上的金属纳米孔阵列，金属纳米孔阵列包括若干基本单元；基本单元包括一个金属空气柱孔和一组金属纳米环；金属空气柱孔穿透金属薄膜，金属纳米环组位于玻璃基底界面上方，由若干个同心的金属纳米环组成；金属空气柱孔和金属纳米环组同轴。本发明有效解决了制备在玻璃基底上的纳米圆孔阵列在紫外波段一个阵列周期对应两个透射峰的问题，灵活度高；并且可使纳米圆孔阵列在200‑400nm波段获得超过50%的峰值透射率，解决了纳米圆孔阵列在紫外波段透射率低的问题
基于纳米图案界面紫外滤光结构及其设计方法

[发明专利]一种微透镜纳米孔混合阵列结构的制备方法-CN201610142570.3有效
发明人：周雷;童捷;范媛媛;高本领;毛安君;蒋青松;胡光 -专利权人：淮阴工学院
申请日： 2016-03-14 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微透镜纳米孔混合阵列结构的制备方法。首先通过紫外纳米压印法制备材质为紫外固化胶的微透镜阵列，然后通过紫外纳米压印制备材质氨酯丙烯酸酯纳米阵列模板，最后在微透镜阵列上涂布紫外光固化胶，并利用纳米阵列模板通过紫外纳米压印制备出材质为紫外光固化胶的微透镜纳米孔混合结构该结构由微透镜阵列、嵌套在微透镜周围的微米圆孔、内嵌在微米圆孔内的微米三角形及微米圆孔与微米三角形间隔区域形成的纳米孔组成。该混合结构同时克服了微透镜阵列不能有效抑制表面入射光线反射和纳米阵列表面机械性能弱的缺点。同时，工艺方法成本低廉，制作简单，并可以大面积批量化制备。
一种透镜纳米混合阵列结构制备方法

[发明专利]具有形态相关磁性的Co纳米结构阵列材料的制备方法-CN201110369479.2有效
发明人：李志刚;陈卫平;刘彦平;钟文武;邵先亦 -专利权人：台州学院
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种Co纳米结构阵列材料合成方法，所合成的Co纳米结构阵列包括衬底、Co纳米孔、Co空心球、Co多孔膜等纳米结构阵列，纳米结构阵列材料为钴磁性材料。样品的磁性具有很强的形态相关性，本发明可合成多种不同材料的纳米结构阵列，可广泛应用于磁存储、纳米器件加工及多功能纳米器件制备。
具有形态相关磁性 co 纳米结构阵列材料制备方法

[发明专利]柔性基底纳米孔结构及柔性基底纳米孔阵列-CN201910996511.6在审
发明人：陈昌;胡春瑞;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2019-10-19 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： C12M1/36 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性基底纳米孔结构及纳米孔阵列，包括柔性基底和纳米孔结构，纳米孔结构形成于孔基底上，纳米孔结构包括纳米孔腔、纳米孔，纳米孔腔贯穿孔基底，纳米孔是纳米孔腔的一端开口，纳米孔腔呈非线性缩小腔体或线性缩小腔体向纳米孔延伸；还包括：光栅，由多组光栅槽构成；孔保护膜，覆盖光栅和纳米孔腔；金属层，覆盖孔保护膜，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm；流体腔。每个纳米孔结构含一个覆盖金属层的等离激元光谱纳米孔，纳米孔周围是布拉格光栅反射镜，实现柔性基底制备；单个纳米孔的尺寸小，具有不易被外力折断，满足恶劣环境下的测序有益效果；金属层表面局域等离激元增强电场与距离呈指数衰减，提供亚纳米的空间分辨率。
纳米孔柔性基底光栅等离激元保护膜基底腔体布拉格光栅覆盖金属层金属层表面空间分辨率纳米孔阵列恶劣环境结构形成线性缩小一端开口指数衰减电场反射镜贯穿孔光栅槽金属层流体腔亚纳米折断测序覆盖光谱制备延伸

[发明专利]柔性基底纳米孔结构和纳米孔阵列制造方法-CN201910996480.4有效
发明人：陈昌;胡春瑞;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2019-10-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C12M1/36 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性基底纳米孔结构的制造方法，包括步骤：步骤100、形成纳米孔结构；步骤200、形成柔性基底的纳米孔结构；步骤100包括：在孔基底上形成纳米孔结构，纳米孔结构包括纳米孔腔、纳米孔和光栅，光栅由多组光栅槽构成，纳米孔腔贯穿孔基底，纳米孔是纳米孔腔的一端开口，光栅围绕纳米孔腔，光栅形成于孔基底上远离纳米孔的面上；形成覆盖光栅和纳米孔腔的金属层，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm。形成覆盖金属层的等离激元光谱纳米孔，纳米孔周围是布拉格光栅反射镜，实现柔性基底制备；单个纳米孔的尺寸小，具有不易被外力折断，满足恶劣环境下的测序有益效果；金属层表面局域等离激元增强电场与距离呈指数衰减，提供亚纳米的空间分辨率。
柔性基底纳米结构阵列制造方法

[实用新型]柔性基底纳米孔结构及柔性基底纳米孔阵列-CN201921756610.9有效
发明人：陈昌;胡春瑞;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2019-10-19 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C12M1/36 文献下载
摘要：本实用新型提供一种柔性基底纳米孔结构及柔性基底纳米孔阵列，包括柔性基底和纳米孔结构，纳米孔结构形成于孔基底上，纳米孔结构包括纳米孔腔、纳米孔，纳米孔腔贯穿孔基底，纳米孔是纳米孔腔的一端开口，纳米孔腔呈非线性缩小腔体或线性缩小腔体向纳米孔延伸；还包括：光栅，由多组光栅槽构成；孔保护膜，覆盖光栅和纳米孔腔；金属层，覆盖孔保护膜，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm；流体腔。每个纳米孔结构含一个覆盖金属层的等离激元光谱纳米孔，纳米孔周围是布拉格光栅反射镜，实现柔性基底制备；单个纳米孔的尺寸小，具有不易被外力折断，满足恶劣环境下的测序有益效果；金属层表面局域等离激元增强电场与距离呈指数衰减，提供亚纳米的空间分辨率。
柔性基底纳米结构阵列

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